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原子層沉積設備6個應用領域

原子層沉積設備6個應用領域

    1 微電子:邏輯器件、碳納米管、存儲器件/材料、阻擋層

    2 光學:光子晶體、表面等離激元、光學微腔、導電氧化物、其他光學器件

    3 能源:鋰電池、燃料電池、太陽能電池、超級電容器、表面鈍化和敏化

    4 催化:氧化物催化劑、負載型金屬催化劑、顆粒和高深寬比結構

    5 生物:生物薄膜和仿生、生物相容性涂層、生物檢測電子器件、生物傳感器

    6 納米技術:微納機電系統、納流體器件、磁隧道結器件、單分子傳感器

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