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量產型原子層沉積技術參數

量產型原子層沉積技術參數

1 不銹鋼腔體,雙層加熱設計;

2 等離子體增強模塊集成于腔體上蓋;

3 進口高速ALD隔膜閥;

4 基片尺寸可以定制;

5 基片最高加熱400℃;

6 最多可提供6路前驅物和6路工藝氣體;

7 氣路全金屬密封,并可加熱至120℃;

8 可提供前驅體鋼瓶加熱或冷卻;

9 可全自動控制工藝過程,同時也可以手動操作。

10 量產型設計,可以全自動化


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