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原子層沉積生長納米薄膜之間對比

原子層沉積生長納米薄膜:以二乙基鋅(DEZn)和水為反應源,在8寸Si襯底上ALD生長的ZnO薄膜


原子層沉積生長納米薄膜:以三甲基鋁(TMA)和水為反應源,在8寸Si襯底上ALD生長的Al2O3薄膜


原子層沉積生長納米薄膜:在三維襯底上ALD生長的Al2O3薄膜


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